簡體  |  繁體  |  English

首頁 > 新聞資訊 > 技術支持

聯系方式

地址:深圳市寶安區沙井共和第三工業區永發科技園
電話:0755-27685353
傳真:0755- 22641616
聯系人:張小姐
郵箱:[email protected]
網址:www.bcszfp.tw
技術支持

真空鍍膜的離子鍍

發布人:管理員 發布時間:2019-04-29

蒸發物質的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發與陰極濺射技術的結合。一種離子鍍系統如圖4[離子鍍系統示意圖],將基片臺作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產生輝光放電。從蒸發源蒸發的分子通過等離子區時發生電離。正離子被基片臺負電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場對離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對基片的濺射清洗作用,使膜層附著強度大大提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點,并有很好的繞射性,可為形狀復雜的工件鍍膜。
深圳金曜來科技有限公司
地址:深圳市寶安區沙井共和第三工業區永發科技園
電話:0755-27685353
傳真:0755- 22641616
聯系人:張小姐
郵箱:[email protected]
網址:www.bcszfp.tw
CopyRight ? 2019 深圳金曜來科技有限公司   粵ICP備14001694號

在線
服務

咨詢時間:9:00-18:00

選擇客服:

熱線
電話

0755-27685353
7*24H 服務

關注
我們

官網
TOP
欢乐斗地主计牌器